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Résumé

Ce livre est dédié à l'intégration des matériaux diélectriques ferroélectriques dans la technologie silicium. Il s'agit principalement de matériaux issus de la famille des matériaux pérovskites qui présentent des propriétés électriques remarquables : permittivité diélectrique très élevée, effet mémoire (ferroélectricité), piézoélectricité, électrostriction. Bien que ces matériaux soient bien maîtrisés à l'état de céramique, les couches minces et notamment celles sur le silicium, le sont beaucoup moins. Ces dix dernières années ont vu une progression technologique sans précédent quant à l'intégration de ces matériaux diélectriques sur le silicium et notamment pour les microsystèmes. Diélectriques ferroélectriques intégrés sur silicium est ainsi dédié à la description de ces matériaux à travers un traitement thermodynamique particulièrement développé pour le cas des couches minces, les technologies mises en jeu pour arriver à les synthétiser, les caractérisations spécifiques utilisées et finalement, la description de plusieurs réalisations technologies abouties.

Auteur

Auteur(s) : Emmanuel Defay

Caractéristiques

Editeur : Hermes Science Publications

Auteur(s) : Emmanuel Defay

Publication : 6 juin 2011

Intérieur : Noir & blanc

Support(s) : Livre numérique eBook [PDF]

Contenu(s) : PDF

Protection(s) : Marquage social (PDF)

Taille(s) : 8,79 Mo (PDF)

Langue(s) : Français

Code(s) CLIL : 3069, 3058

EAN13 Livre numérique eBook [PDF] : 9782746241848

EAN13 (papier) : 9782746225626

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