Le second volume présente les procédés de fabrication utilisés dans la réalisation de microsystèmes fondés sur des microstructures électromécaniques épaisses , inhabituelles dans le domaine de la microélectronique. La photolithographie utilisant des ré
Editeur : Hermes Science Publications
Publication : 1 juin 2008
Intérieur : Noir & blanc
Support(s) : Livre numérique eBook [PDF]
Contenu(s) : PDF
Protection(s) : Marquage social (PDF)
Taille(s) : 7,7 Mo (PDF)
Langue(s) : Français
Code(s) CLIL : 3051
EAN13 Livre numérique eBook [PDF] : 9782746227064
EAN13 (papier) : 9782746208186
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