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Techniques de fabrication des microsystèmes 1 : Structures et microsystèmes électromécaniques en couches minces - Jean-Claude Sabonnadière, Michel De Labachelerie, René Le Doeuff, Jean-Pierre Goure, Jean-Louis Aucouturier, Joseph Borel, De Labachelerie Michel, René Castagné - Hermes Science Publications

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Techniques de fabrication des microsystèmes 1 : Structures et microsystèmes électromécaniques en couches minces

de Jean-Claude Sabonnadière (auteur), Michel De Labachelerie (auteur), René Le Doeuff (auteur), Jean-Pierre Goure (auteur), Jean-Louis Aucouturier (auteur), Joseph Borel (auteur), De Labachelerie Michel (auteur), René Castagné (auteur)
Maison d'édition : Hermes Science Publications
juin 2008
326 pages Téléchargement après achat
105,00 €
Le premier volume présente les procédés de fabrication fondés sur la photolithographie, et qui permettent de réaliser les microstructures en couches minces utilisées pour fabriquer des micromoteurs, des microaccéléromètres ou encore des matrices de microm

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Résumé

Le premier volume présente les procédés de fabrication fondés sur la photolithographie, et qui permettent de réaliser les microstructures en couches minces utilisées pour fabriquer des micromoteurs, des microaccéléromètres ou encore des matrices de microm

Auteur

Auteur(s) : Jean-Claude Sabonnadière, Michel De Labachelerie, René Le Doeuff, Jean-Pierre Goure, Jean-Louis Aucouturier, Joseph Borel, De Labachelerie Michel, René Castagné

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Caractéristiques

Editeur : Hermes Science Publications

Auteur(s) : Jean-Claude Sabonnadière, Michel De Labachelerie, René Le Doeuff, Jean-Pierre Goure, Jean-Louis Aucouturier, Joseph Borel, De Labachelerie Michel, René Castagné

Publication : 1 juin 2008

Intérieur : Noir & blanc

Support(s) : Livre numérique eBook [PDF]

Contenu(s) : PDF

Protection(s) : Marquage social (PDF)

Taille(s) : 8,36 Mo (PDF)

Langue(s) : Français

Code(s) CLIL : 3051

EAN13 Livre numérique eBook [PDF] : 9782746227071

EAN13 (papier) : 9782746208179

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