Techniques de fabrication des microsystèmes 1 : Structures et microsystèmes électromécaniques en couches minces

Name: Techniques de fabrication des microsystèmes 1 : Structures et microsystèmes électromécaniques en couches minces
Brand: Hermes Science Publications
SKU: 9782746227071
Price: 105.0 EUR
Availability: InStock
ISBN: 978-2-746-22707-1

de Jean-Claude Sabonnadière (auteur), Michel De Labachelerie (auteur), René Le Doeuff (auteur), Jean-Pierre Goure (auteur), Jean-Louis Aucouturier (auteur), Joseph Borel (auteur), De Labachelerie Michel (auteur), René Castagné (auteur)

Maison d'édition : Hermes Science Publications

juin 2008

Livre numérique eBook [PDF]

326 pages Téléchargement après achat

105,00 €

Le premier volume présente les procédés de fabrication fondés sur la photolithographie, et qui permettent de réaliser les microstructures en couches minces utilisées pour fabriquer des micromoteurs, des microaccéléromètres ou encore des matrices de microm

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Auteur(s) : Jean-Claude Sabonnadière, Michel De Labachelerie, René Le Doeuff, Jean-Pierre Goure, Jean-Louis Aucouturier, Joseph Borel, De Labachelerie Michel, René Castagné

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Editeur : Hermes Science Publications

Auteur(s) : Jean-Claude Sabonnadière, Michel De Labachelerie, René Le Doeuff, Jean-Pierre Goure, Jean-Louis Aucouturier, Joseph Borel, De Labachelerie Michel, René Castagné

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